真空泵的分類

一、按性能特點(diǎn)和用途分類

（1）超高真空泵

極限壓力低于10-5Pa的真空泵屬于超高真空泵。超高真空泵主要有各種離子泵、低溫泵等。

（2）中真空泵

極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。

（3）高真空泵

極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真空泵有各種擴(kuò)散泵及分子泵等。

（4）低真空泵

泵的極限壓力高于102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。 

二、按工作原理和結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分類

（1）機(jī)械式容積真空泵

靠機(jī)械運(yùn)動使泵腔工作容積周期變化來實(shí)現(xiàn)抽氣作用的是機(jī)核式容積真空泵。屬于這類泵的有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵(包括旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等)。這類泵中除機(jī)械增壓泵外，一般均可單獨(dú)使用。

（2）射流式真空泵

沒有機(jī)械運(yùn)動部件,主要靠通過噴嘴的高速射流來抽真空的是射流式真空泵。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴(kuò)散泵等。這類泵結(jié)構(gòu)簡單,工作可靠,壽命長,易于維修,應(yīng)用比較普遍。

 三、根據(jù)工作原理，可分為氣體輸送真空泵和氣體捕集真空泵。

氣體輸送泵是一種能使氣體吸入和排出不斷從而達(dá)到吸入真空泵的目標(biāo)。

氣體捕集泵是一種真空泵,它使氣體分子吸附或凝聚在泵的內(nèi)表面,從而減少容器中氣體分子的數(shù)量,達(dá)到抽吸的目的。

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